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韓企量産氟化氫,推進半導體材料國産化

2020/06/18

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      韓國SK Materials於6月17日發佈消息稱,已啟動用於半導體生産工序的氟化氫氣體的量産。據稱達到了一定水平的高純度,三星電子和SK海力士將採用。關於日本加強對韓出口管理的半導體相關材料,韓國企業的國産化正在取得進展。

   

      SK Materials已在韓國東部的榮州市的工廠啟動量産。該公司表示,實現量産的氟化氫氣體達到被稱為「five nine(5個9)」的純度,即99.999%。雖然品質仍低於日本原材料廠商此前出口的11個9這一超高純度的「Eleven Nine」,但在半導體晶圓的清洗等一部分生産工序已開始使用。

   

      SK Materials在日本加強對韓出口管理之後,于2019年11月建立了相關材料的開發中心。在充分利用SK海力士設立的基金資金的同時,一直推進實現氟化氫量産化的研發。目前已使全年15噸規模的生産設備投入運行,計劃到2023年將韓國國內半導體生産所用的氟化氫的國産化比率提高至70%。

    

      日本政府2019年7月出台對韓出口管理的嚴格化,事實上限制了半導體相關材料的出口。韓國企業尋找代替供應企業,韓國的材料廠商獲得政府支援,一直在加快相關材料的國産化。

    

      日本經濟新聞(中文版:日經中文網)細川幸太郎 首爾報導

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