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日本半導體設備廠商紐富來社長談市場

2020/09/02

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半導體

      在用於5G和自動駕駛的高性能半導體需求持續擴大的同時,最尖端半導體的投資成本也越來越高。東芝旗下的紐富來(NuFlare Technology)是一家大型電子束掩膜光刻設備製造商,其産品可在光掩膜上刻畫出精細圖案。關於市場需求動向和業務戰略,日本經濟新聞(中文版:日經中文網)採訪了紐富來社長杉本茂樹。

  

NuFlare Technology將擴充光刻設備的産品陣容

  

      記者:請介紹一下最尖端光刻設備的研發狀況。

 

      杉本茂樹:我們正在研究5奈米線寬、26萬束雷射的多束光刻設備,但第一代産品很困難。想讓26萬束雷射進行高速開閉,但不能穩定運行。本公司沒有將特殊的大規模積體電路(LSI)與MEMS組合起來的技術,於是讓母公司東芝來研發。

 

      在我們的研發遲遲沒有進展期間,客戶的需求已經從5奈米升級到3奈米。現在正進行下一代設備的研發,在技術上與第一代有重疊的部分。雖然研發時費盡週折,但對下一代設備有幫助。

 

      記者:從4月起成為東芝的全資子公司,帶來了什麼效果嗎?

 

      杉本茂樹:雖然沒有什麼顛覆性的變化,但向母公司提出什麼請求時,回應變得更快了。研發體制也由25人擴充到180人。

 

      記者:會繼續走精細化的道路嗎?

 

      杉本茂樹:追求精細化是迄今為止的主要發展方向,但線寬不那麼精細的器件市場也在擴大。最尖端的半導體需要龐大的研發經費,能進行鉅額設備投資的企業並不多。與此同時,半導體的市場基礎在擴大。線寬上落後1~2代的設備的需求也在提高,我們將通過應對各種各樣的線寬來滿足客戶的需求。

  

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